基本信息
英文名称
Atomic-Level Precision Cluster Beam System
产品特性
产品系列
高分辨率质量筛选
实现原子级精度的团簇沉积，并在微小尺寸范围内具备 a.m.u. 级质量筛选分辨率
全尺寸范围高分辨率质量筛选
支持高通量、高分辨率团簇沉积，并可在全尺寸范围内实现高分辨率质量筛选
多元质量筛选
制备多元素合金团簇，并通过温控气相凝聚系统实现原子排列结构控制
