産業ガス

ヘリウム


ヘリウムは身近なところではキャラクターの風船用のガスとして使用されていますが、工業用途だと、半導体や光ファイバーの製造工程などにも使われています。天然ガスの副産物であるため、ヘリウムの産地は主にロシアやカタール、アメリカなどといわれていますが、ハイケムはいち早く中国で高純度ヘリウムガスを調達し顧客へ提案しています。

ヘリウムは高圧ガスであり、取り扱いが難しく、特別な認可が必要になりますが、当社は既に高圧ガス販売におけるライセンスを取得しており、現在、ヘリウムガスの取り扱い実績を有しています。

主な用途主要取扱グレード容器
半導体・エレクトロニクス
医療(MRI装置)
高純度グレード
(5N、6N、6N5)
高圧ガス容器
(47Lタイプ)

三フッ化窒素(NF3)

三フッ化窒素は、半導体や液晶製造装置用のクリーニング剤、ドライエッチング剤として使われています。
半導体の製造に不可欠な高純度特殊ガスとして使用は増加傾向にあり、ハイケムでは中国からの調達が可能です。

主な用途主要取扱グレード容器
半導体・液晶製造装置用クリーニング剤
ドライエッチング剤
高純度グレード
(5N、4N)
高圧ガス容器
(47Lもしくは大型容器)等

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